聚光灯照进冷实验室：国产碳化硅材料的科研人物专访
上个月约这次采访，我找了陈远三次。
第一次他开项目协调会，散会时已经晚上十点半，保安都催着锁办公楼大门了。
第二次他下无锡中试线，蹲了整整五天，回来连轴转开了三个评审会，连上厕所的时间都挤不出来。
第三次终于约上，就在他实验室楼下的便民咖啡角，他自己带了个掉漆的搪瓷缸，泡的是老家寄来的老寿眉。
国内高校半导体实验室台式扫描电镜工位
"你要问啥直接问，我下午还要带学生磨衬底样品，晚了炉子就占不上了。"他直接开口。
我问他现在做的6英寸碳化硅单晶低位错衬底，到底对国内芯片产业有多重要。他放下搪瓷缸，掰着手指头给我算：现在新能源汽车卖得火，一台车的主逆变器要用到至少两颗碳化硅功率芯片，没有碳化硅衬底，芯片就是无米之炊。之前我们整个产业链都靠进口，人家不仅卖得贵，还动不动就断供，给你都是淘汰的二代技术，良率上不去，成本降不下来，我们的车规芯片永远只能跟在别人屁股后面吃灰。
一句话，没这个东西，我们的新能源汽车，随时都得被人卡脖子。
国内量产线6英寸碳化硅单晶衬底成品晶圆
有一年年底组会开完，大家情绪都低，陈远把自己刚拿到的几十万国家人才补贴拿出来，包了个车带全组二十多号人去舟山海边，住一百块钱一晚的渔家乐，买了两千块钱的烧烤和啤酒，吹着海风喝啤酒。他说："我今天就一句话，咱们现在苦点，以后国内每一台装了国产碳化硅芯片的电动车，都得记咱们的好。熬出来，咱们就赢了。"
良率破90%那天，他在走廊哭了十分钟
去年十一月，第一条国产中试线跑通了。
第三方检测结果出来：6英寸碳化硅衬底的位错密度稳定在每平方厘米89个，良率稳定在92%。
这个数字是什么概念？国际顶尖厂商的量产线良率也就94%到95%，国内之前最好的水平，才不到68%。
一下子，就把卡了我们十几年的口子撕开了。
那天全实验室都炸了，学生们攒钱买了香槟，往陈远身上泼，大家笑着闹着，陈远也跟着笑，悄悄溜出来，靠在实验室门口的墙上，偷偷抹眼泪。整整十分钟，没人敢上去打扰他。
我问他那天哭的时候想啥呢？
他挠了挠头，有点不好意思："想我妈。我妈走的时候是2016年，那时候我正卡在实验最苦的时候，连最后一面都差点没赶上。她临走前还拉着我的手说，放着日本好好的工作不呆，非要回来遭这个罪，值当吗？我那时候都没法回答她。那天出结果了，我就站在那儿跟她说，妈，值当，我没选错。"
我当时听完，半天没说出话。
不过话说回来，他们现在根本没功夫庆功。下一步要攻8英寸衬底，还要把现有产品的成本再降三分之一，让国内所有做碳化硅器件的小厂商都能用得起国产衬底，再也不用看外国人的脸色涨价、断供。
他说，现在好多人一搞就说要赚快钱，我们搞基础科研的，不能赚快钱，也不能想着出名，就得坐冷板凳。坐几十年，总能把石头给坐穿。
我走的时候，他要赶回去给学生改毕业论文的图，路过实验室走廊，墙上贴满了学生们手写的实验数据，密密麻麻的，从2014年到2023年，整整齐齐贴了三面墙。秋天的阳光从窗户斜照进来，灰尘在光里打着转，我站在那儿看了半天，突然觉得，那些天天上热搜的明星网红，哪比得上这些蹲在冷实验室里啃硬骨头的人啊。
这才是我们国家的顶梁柱啊。
约在咖啡角的采访，没穿白大褂的课题组长
说实话，见他之前我脑补了很多。搞基础科研的，尤其是搞卡脖子课题的，要么是头发花白说话慢条斯理的老院士，要么是戴金丝眼镜出口都是术语的青年才俊。 他一进门我就愣了。寸头，发根已经白了一半，穿洗得发白的藏蓝色运动外套，脚上皮凉鞋还沾了点实验室走廊的消毒水痕迹，一坐下就先掏手机给我看学生刚发的实验数据，连开场白都省了。国内高校半导体实验室台式扫描电镜工位
"你要问啥直接问，我下午还要带学生磨衬底样品，晚了炉子就占不上了。"他直接开口。
我问他现在做的6英寸碳化硅单晶低位错衬底，到底对国内芯片产业有多重要。他放下搪瓷缸，掰着手指头给我算：现在新能源汽车卖得火，一台车的主逆变器要用到至少两颗碳化硅功率芯片，没有碳化硅衬底，芯片就是无米之炊。之前我们整个产业链都靠进口，人家不仅卖得贵，还动不动就断供，给你都是淘汰的二代技术，良率上不去，成本降不下来，我们的车规芯片永远只能跟在别人屁股后面吃灰。
一句话，没这个东西，我们的新能源汽车，随时都得被人卡脖子。
九年没发顶刊，全组跟着啃没人碰的硬骨头
你知道现在学界的氛围对吧？影响因子，项目，帽子，多少人抢着做短平快的课题，改改配方换个参数，三五个月就能出一篇顶刊，三年就能凑够材料评教授，谁都不愿意碰这种十年八年不一定出成果的硬骨头。 陈远倒好，2014年从日本东北大学回来，拒绝了好几个高校给的特聘教授头衔，非要进当时还没什么资源的浙大硅材料国家重点实验室，接手这个烂摊子。 一干就是九年。前五年，连一篇影响因子过十的文章都没出。 有人背后说他傻，放着现成的热点不做，非要撞南墙。还有人说他就是骗国家经费，根本做不出来。 他听了也就笑一笑，该干嘛干嘛。我问他就没动摇过？ 他端着搪瓷缸喝了一大口茶，茶叶沫子沾在嘴角，他随手抹了一把："动摇怎么不动摇？过年开组会，学生们都低着头，说干了一年没成果，找工作都不好写简历，我看着心里能好受？有个博士跟着我六年了，毕业延期两次，换谁谁不急？" "可那又怎么样呢？"他话锋一转，眼睛亮了，"这个活儿，我们不做，就没人做。外国人不可能把核心技术给我们，我们等着别人送，那等到猴年马月去？我反正回来就是奔着这个事儿来的，做不出来我就不走。"国内量产线6英寸碳化硅单晶衬底成品晶圆
有一年年底组会开完，大家情绪都低，陈远把自己刚拿到的几十万国家人才补贴拿出来，包了个车带全组二十多号人去舟山海边，住一百块钱一晚的渔家乐，买了两千块钱的烧烤和啤酒，吹着海风喝啤酒。他说："我今天就一句话，咱们现在苦点，以后国内每一台装了国产碳化硅芯片的电动车，都得记咱们的好。熬出来，咱们就赢了。"
良率破90%那天，他在走廊哭了十分钟
良率破90%那天，他在走廊哭了十分钟
去年十一月，第一条国产中试线跑通了。
第三方检测结果出来：6英寸碳化硅衬底的位错密度稳定在每平方厘米89个，良率稳定在92%。
这个数字是什么概念？国际顶尖厂商的量产线良率也就94%到95%，国内之前最好的水平，才不到68%。
一下子，就把卡了我们十几年的口子撕开了。
那天全实验室都炸了，学生们攒钱买了香槟，往陈远身上泼，大家笑着闹着，陈远也跟着笑，悄悄溜出来，靠在实验室门口的墙上，偷偷抹眼泪。整整十分钟，没人敢上去打扰他。
我问他那天哭的时候想啥呢？
他挠了挠头，有点不好意思："想我妈。我妈走的时候是2016年，那时候我正卡在实验最苦的时候，连最后一面都差点没赶上。她临走前还拉着我的手说，放着日本好好的工作不呆，非要回来遭这个罪，值当吗？我那时候都没法回答她。那天出结果了，我就站在那儿跟她说，妈，值当，我没选错。"
我当时听完，半天没说出话。
不过话说回来，他们现在根本没功夫庆功。下一步要攻8英寸衬底，还要把现有产品的成本再降三分之一，让国内所有做碳化硅器件的小厂商都能用得起国产衬底，再也不用看外国人的脸色涨价、断供。
他说，现在好多人一搞就说要赚快钱，我们搞基础科研的，不能赚快钱，也不能想着出名，就得坐冷板凳。坐几十年，总能把石头给坐穿。
我走的时候，他要赶回去给学生改毕业论文的图，路过实验室走廊，墙上贴满了学生们手写的实验数据，密密麻麻的，从2014年到2023年，整整齐齐贴了三面墙。秋天的阳光从窗户斜照进来，灰尘在光里打着转，我站在那儿看了半天，突然觉得，那些天天上热搜的明星网红，哪比得上这些蹲在冷实验室里啃硬骨头的人啊。
这才是我们国家的顶梁柱啊。